Получение деионизированной воды
Деионизированная вода
Деионизованная вода в электронной промышленности
Деионизированная вода - это глубоко обессоленная, сверхчистая вода с сопротивлением, близким к 18 МОм/см, например. Применяется в микроэлектронике, производстве печатных плат, приборостроении и энергетике.
С целью получения высокоомной деионизированной воды применяется много стадийный процесс очистки. После предварительной очистки вода подается на мембранную установку обратного осмоса, а затем очищается на фильтрах смешанного действия. Хранение деионизованной воды осуществляется в накопительных емкостях из фторопласта.
Таблица 1. Требования к качеству деионизированной воды
|
Параметры воды |
Требования по ОСТ 11.029.003-80 |
Требования по нормам |
|||||
|
А |
Б |
В |
Е-1 |
Е-2 |
Е-3 |
Е-4 |
|
|
Удельное сопротивление при температуре 20°С, МОм/см |
18 |
10 |
1 |
18 |
17,5 |
12 |
0,5 |
|
Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более |
1,0 |
1,5 |
|
||||
|
Общий органический углерод, мкг/л, не более |
|
25 |
50 |
300 |
1000 |
||
|
Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более |
0,01 |
0,05 |
0,2 |
0,005 |
0,01 |
0,05 |
1,0 |
|
Содержание железа, мг/л, не более |
0,015 |
0,02 |
0,03 |
|
|||
|
Содержание меди, мг/л, не более |
0,005 |
0,001 |
0,002 |
0,5 |
|||
|
Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более |
20 |
50 |
|
|
|||
|
Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не более |
2 |
8 |
|
||||
|
Хлориды, мкг/л, не более |
|
1 |
10 |
1000 |
|||
|
Никель, мкг/л, не более |
0,1 |
1 |
2 |
500 |
|||
|
Нитраты (по NO3-), мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
||||
|
Фосфаты, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
||||
|
Сульфат, мг/л, не более |
1 |
5 |
500 |
||||
|
Калий (К+), мкг/л, не более |
2 |
5 |
500 |
||||
|
Натрий, мкг/л, не более |
0,5 |
1 |
5 |
500 |
|||
|
Цинк, мкг/л, не более |
0,5 |
1 |
5 |
500 |
|||
